Lithography Process Control - Tutorial Texts - Harry J. Levinson - Książki - SPIE Press - 9780819430526 - 1 lutego 1999
W przypadku, gdy okładka i tytuł się nie zgadzają, tytuł jest poprawny

Lithography Process Control - Tutorial Texts


Otrzymaj e-mail, gdy przedmiot będzie dostępny
Czy masz profil? Zaloguj się
Otrzymuj powiadomienia o nowych wydawnictwach Harry J. Levinson
Dodaj do swojej listy życzeń iMusic

Jeszcze nie oceniono

This text is intended to be a self-contained tutorial on lithography process control. It works as an introduction to those entering the field, and as a reference for the experienced lithography engineer. Topics covered include linewidth control, overlay, and yield.


194 pages, Illustrations, 1 port.

Media Książki     Paperback Book   (Książka z miękką okładką i klejonym grzbietem)
Wydane 1 lutego 1999
ISBN13 9780819430526
Wydawcy SPIE Press
Strony 194
Wymiary 150 × 220 × 10 mm   ·   444 g

Więcej od tego samego wydawcy